尼得科的LSPM真空泵电机是专为半导体芯片制造场景研发的低压工业电机,凭借高效节能、环境适应性强等优势适配该领域真空泵的作业需求,以下是其详细信息介绍:
核心技术参数
参数类别 具体信息
功率与极数 功率覆盖范围为 1.5KW - 11KW,可匹配不同功率规格的真空泵设备;极数仅提供 4 极和 6 极两种固定选择,能满足真空泵常规运转的转速适配需求。
转速与电压 最高转速可达 9200 转,对应的适配电压为 180V 和 340V,两种电压规格可根据真空泵的供电系统灵活选配。
环境适配参数 工作温度耐受范围宽,能在 - 40℃ - +50℃的环境下稳定运行,适配半导体制造车间不同温区的作业环境;同时支持在 1000 米和 2000 米的海拔高度工作,对高海拔地区的工厂也具有良好兼容性。
核心性能优势
能效表现优异:采用 IE3/IE4 级高效同步电机标准设计,这类高效电机在运行过程中电能损耗远低于普通电机,既能降低半导体工厂的生产能耗成本,也符合工业设备节能化的发展趋势。
运行稳定可靠:针对半导体制造的精密生产要求,该电机在设计上注重运行稳定性。其适配的海拔和温度范围广,能应对不同地域、不同车间环境下的工况波动,减少因环境变化导致的设备停机或故障,保障真空泵持续为半导体生产提供真空环境。
专属适配场景
该电机是半导体芯片制造专用的真空泵配套部件。半导体芯片制造过程中,诸多工序需在高真空环境下进行,以避免杂质影响芯片质量,而这款 LSPM 电机可为真空泵提供稳定动力,确保真空泵能持续、高效地完成抽真空作业,是半导体生产线上保障工艺精度的重要配套电机部件。此外,从其参数和设计来看,暂不适用于普通工业或家用真空泵,适配场景具有较强的专一性。