尼得科nidec晶圆搬送机器人(SR8241)

核心规格（原厂公开，精确值以 datasheet 为准）

参数项 典型值 备注

适用晶圆 200/300 mm 兼容主流尺寸

结构 / 自由度 3 连杆水平铰接；5 轴 省空间、大覆盖

可动范围 翻转轴 ±275°；X 轴 -750～+750 mm；Z 轴 ≈400 mm（中文页）/≈470 mm（日文页） 以最终 datasheet 为准

重复定位精度 ±0.05 mm 洁净环境稳态

抓手 / 吞吐 双抓手、双驱动；10 mm 片间距双片同取放 提升产能

布局能力 无行走轨覆盖最多 5 台 FOUP 并行排布 紧凑集成

控制器 SC5000 标配控制单元

环境 超洁净级，低发尘、低振动 适配 Class 1/10 洁净室

核心优势与功能 

省空间与大覆盖：3 连杆设计缩短臂长与可动范围，设备占地更小；无行走轨即可覆盖 5 台 FOUP，集成密度高。

高吞吐双片同取放：独立双驱动、10 mm 片间距兼容，双片同时取 / 放，节拍更快，产能更高。

超洁净与低振动：自研伺服与控制算法，低发尘、低残留振动，满足前道高洁净与晶圆安全搬运要求。

灵活适配：低取片高度、可翻转 / 通用抓手，适配不同设备接口与晶圆朝向切换。

稳定可靠：尼得科自社电机与驱动，成熟控制算法，适合 24/7 不间断运行与批量集成。

选型与集成要点 

晶圆尺寸与间距：确认是 200 mm 还是 300 mm，FOUP 片间距是否为 10 mm，双片同取放需匹配 FOUP 间距与抓手规格。

行程与布局：核对 X/Z/ 翻转角度是否覆盖设备端口与 FOUP 位姿；无行走轨时最多 5 台并行，超出则需评估行走轴或多机协同。

接口与通讯：确认 SC5000 控制器的通讯协议（如 SECS/GEM、EtherCAT、TCP/IP）、I/O 定义与安全互锁（急停、门开、晶圆存在检测等）。

洁净与振动：确认洁净室等级（Class 1/10）、发尘量与振动指标，必要时做现场测试与优化。

安全与合规：落实急停、门开互锁、晶圆掉落检测、超限保护等逻辑，满足半导体设备安全标准。