尼得科nidec晶圆搬送机器人(SR8220)

核心规格（原厂公开，精确值以 datasheet 为准）

参数项 典型值 备注

结构 / 自由度 圆柱坐标双臂，4 轴 适配 EFEM/Load Port 集成

晶圆尺寸 200/300 mm（兼容 2–8 英寸 / 12 英寸） 双片同取放提升产能

可动范围 R1/R2 轴 Short：-265～+245 mm；Standard：-212～+321 mm；Long：-319～+447 mm 按臂长选型

可动范围 Z 轴 300/400/450/600 mm 可选高度适配多层设备

可动范围 θ 轴 340° 大角度覆盖

最大速度 R1/R2：5.76 rad/s；Z：450 mm/s；θ：6.97 rad/s 高速启停与传输

重复定位精度 ±0.1 mm Class 1 洁净室稳态

最大可搬重量 2 kg 含抓手与晶圆

本体重量 60/70/85 kg 按 Z 轴与臂长配置

控制器 SC5000 标配控制单元

环境 Class 1 洁净级，低发尘 / 低振动 前道 / 后道通用

核心优势与功能 

双臂双片同取放：独立双驱动，节拍更快，产能更高；直线精度优异，适合高精度对位与高速交换。

多臂长与 Z 轴可选：Short/Standard/Long 臂长与多档 Z 轴行程，适配不同设备端口与 FOUP 布局，集成灵活。

低振动与高洁净：自研伺服与控制算法，低发尘、低残留振动，满足前道高洁净与晶圆安全搬运要求。

稳定可靠：尼得科自社电机与驱动，成熟控制算法，适合 24/7 不间断运行与批量集成。

标准化接口：SC5000 控制器支持 SECS/GEM、EtherCAT、TCP/IP 等，便于与 EFEM/Load Port / 工艺设备联调。

选型与集成要点 

晶圆尺寸与片间距：确认 200/300 mm，FOUP 片间距是否支持双片同取放；必要时定制抓手与取放时序。

臂长与 Z 轴行程：按设备端口与 FOUP 位姿选择 Short/Standard/Long 臂长；Z 轴高度需覆盖上下片与多层工位。

通讯与 IO：确认 SC5000 的协议（SECS/GEM、EtherCAT、TCP/IP）、DI/DO 数量与定义（急停、门开、晶圆存在、真空检测等），避免接口不足或协议不兼容。

洁净与振动：确认洁净室等级（Class 1）、发尘量与振动指标，必要时做现场测试与优化。

安全与合规：落实急停、门开互锁、晶圆掉落检测、超限保护等逻辑，确保符合当地安全标准与整机认证要求。

安装与使用建议 

机械安装：按手册预留散热空间，固定牢固，避免挤压线束与散热面；洁净室安装避免扬尘，密封线缆穿孔与接口，抓手与臂端定期清洁。

电气连接：动力 / 编码器 / IO 线缆按手册接线并紧固；控制线与主回路分开布线，用屏蔽线远离干扰源；确认 CAN/EtherCAT 终端电阻与波特率。

上电调试：先空载测试各轴运动范围、限位、抓手开合与双片同取放时序；再用标准晶圆标定重复定位精度与片间距；最后联调设备端口与 FOUP 上下片，记录故障码与节拍。

日常维护：定期清洁抓手与臂端、检查线缆磨损与端子温升、校准定位精度与片间距；按手册更换润滑脂与耗材，备份参数与程序。